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狹義的空氣潔凈度包含了需要控制的最小微粒粒徑和微粒的濃度兩個(gè)指標(biāo)廣義的空氣潔凈度還包括分子態(tài)污染物指標(biāo)。就服務(wù)對(duì)象來(lái)說(shuō)，手術(shù)室可以分為普通手術(shù)室和急救手術(shù)室。手術(shù)室層流凈化中過(guò)濾器的三大相關(guān)參數(shù)。

手術(shù)室層流凈化以控制非生命微粒為主要目標(biāo)，其中集成電路行業(yè)手術(shù)室的控制目標(biāo)最為嚴(yán)格。由于集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的發(fā)展，電路特征尺寸或基本圖形尺寸（電路元件金屬連線的寬度或者導(dǎo)線之間的距離）已經(jīng)發(fā)展到 0.1μm以下，一粒粒徑與特征尺寸或基本圖形尺寸相當(dāng)?shù)奈⒘＞涂梢云茐脑械碾娐吩O(shè)計(jì)（短路、破壞絕緣等），因此手術(shù)室層流凈化中，控制的最小微粒的尺寸在基本圖形尺寸大小的 1/3~1/10，而超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間甚至必須控制分子態(tài)污染物。以下是手術(shù)室層流凈化中過(guò)濾器的三大相關(guān)參數(shù)。

1.面速、濾速

過(guò)濾器的比較重要的特性參數(shù)主要有四個(gè)，即面速或?yàn)V速、效率、阻力和容塵量，此外還有重量、消耗動(dòng)力和再生特性等。手術(shù)室層流凈化中，濾速、阻力和容塵量直接影響過(guò)濾器阻力變化，是本研究關(guān)心的參數(shù)。

而濾速是指濾料面積上通過(guò)的氣流的速度，由于濾料本身需要有一定的結(jié)構(gòu)和強(qiáng)度，采用的黏結(jié)材料等不能透過(guò)空氣，因而需要減去這部分面積。手術(shù)室層流凈化中，過(guò)濾器的濾料只有在一定的濾速下，才能有效的捕集微粒。由此可知，當(dāng)風(fēng)量增加過(guò)大時(shí)，風(fēng)管必須相應(yīng)增大，安裝更大或者更多的過(guò)濾器（即使用多個(gè)并聯(lián)過(guò)濾器代替原先的一個(gè)過(guò)濾器）。

2.過(guò)濾效率以及串聯(lián)效率

手術(shù)室層流凈化中，過(guò)濾器的效率是決定過(guò)濾器的等級(jí)的主要參數(shù)之一，當(dāng)被過(guò)濾氣體的微粒濃度為計(jì)重濃度時(shí)，過(guò)濾器的效率應(yīng)采用計(jì)重效率；當(dāng)被過(guò)濾氣體的微粒濃度為計(jì)數(shù)濃度時(shí)，過(guò)濾器的效率應(yīng)采用計(jì)數(shù)效率。此外還有比色效率和濁度效率等。由于現(xiàn)有的過(guò)濾器的效率均是按照計(jì)數(shù)效率標(biāo)定，而決定積塵速度的是計(jì)重效率。手術(shù)室層流凈化中，需要對(duì)計(jì)重效率和計(jì)數(shù)效率進(jìn)行換算。此外由于手術(shù)室風(fēng)系統(tǒng)過(guò)濾器多級(jí)串聯(lián)，需要、計(jì)算串聯(lián)過(guò)濾器的總效率和穿透率。

3.容塵量

過(guò)濾器的容塵量定義為：在額定工況下運(yùn)行，終阻力達(dá)到初阻力兩倍時(shí)過(guò)濾器上的積塵量。由定義可知，手術(shù)室層流凈化中，容塵量與終阻力的概念實(shí)際上時(shí)等效的，因此利用較小的終阻力來(lái)作為過(guò)濾器的更換判據(jù)，其積塵量不會(huì)突破容塵量，是可靠的。

以上就是今天所要分享的內(nèi)容，當(dāng)手術(shù)室凈化中的過(guò)濾器在額定風(fēng)量運(yùn)行，積塵量從0增加到過(guò)濾器的終阻力等于終阻力的既定倍數(shù)（般為1倍）時(shí)，此過(guò)濾器不能再使用。