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芯片無塵車間對潔凈度有什么要求

來源: 時間:2022-09-20 14:43:46 瀏覽次數(shù):

電子制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間都是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。今天就隨康德萊凈化工程公司一起來了解下吧! 電子制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間都是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。


1、萬級芯片無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次;   2、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;   3、平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;   4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;   5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。   6、噪聲:≤65dB(A);   7、照度:300LX;   8、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%。   萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,伴有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)。

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