半導(dǎo)體工業(yè)是ji精mi的工業(yè),當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)拆開之后,在電路板上一顆顆小小的 IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些ji小的晶體管妥善的工作,制造的過程bi須在無塵室內(nèi)進(jìn)行,集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資,多因?yàn)樾枰粋€(gè)無塵室。
所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境, 里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境, 隨著集成電路技術(shù)的快速成長, 也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求, 在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1 微米, 可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起, 造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小, 集成電路積集度不斷的增加, 塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。 例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí), 就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。 又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上, 可能將其腐蝕, 所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
潔凈車間等級主要有哪幾種以及它們的用途。
1.1級:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精que要求為亞微米。
2.10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
3.100級:可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈廠房大量應(yīng)用于植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
4.1000級:主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
5.10000級:用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
6.100000級:適用于多種工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品及電子產(chǎn)品的制造。